Temperatura şi umiditatea de laborator construcţie spaţiu în principal sunt determinate în conformitate cu cerinţele procesului, dar nivelul de confort uman ar trebui să fie luate în considerare atunci când îndeplinesc cerinţele procesului. Cu îmbunătăţirea din cerințele de curăţenia aerului, a existat o cerere tot mai stricte de temperatura si umiditate a procesului. Cerințele specifice procesului de temperatură vor fi listate mai târziu, dar ca principiu general, din cauza din ce în ce mai fine precizia de prelucrare, cerinţele pentru temperaturi de fluctuaţie devin mai mici şi mai mici.
De exemplu, în procesul de expunere litografie de producţie la scară largă de circuit integrat, diferența de coeficient de dilataţie termică între sticlă şi plăcuță de siliciu ca o masca material trebuie să fie mai mici. 100 um diametru siliciu de napolitana, creștere de temperatură de 1 grad, a cauzat o expansiune liniare de 0.24um, aceasta trebuie să aibă o temperatură constantă de ± 0,1 grade, în timp ce valoarea umidităţii necesare este în general mai mic, deoarece oamenii transpira, produsul va fi poluat, în special este frică de sodiu semiconductoare atelier, acest atelier temperatura nu trebuie să depășească 25 grade, problema de umiditate excesivă a generat mai multe probleme. Când umiditatea relativă depăşeşte 55 %, condensul se va forma pe peretele de conducte de apă de răcire. În cazul în care apare într-un dispozitiv de precizie sau circuit, va provoca diferite accidente.
Regulamentele de presiune
Pentru cele mai multe camere, este necesară pentru a menţine presiunea internă (presiune statică) mai mare decât presiunea externă (presiunea statica) pentru a preveni pătrunderea contaminării externe. Întreţinere de diferenţa de presiune trebuie să îndeplinească, în general, următoarele principii:
1. presiunea spaţiu curat este mai mare decât presiunea spatiului non-curat.
2. presiunea de la nivel de curatenie ridicat este mai mare decât presiunea de nivelul de curăţenie scăzut adiacente.
Menţinerea diferența de presiune depinde de cantitatea de aer proaspăt, care poate compensa pentru suma de aer care curg din decalajul în această diferenţă de presiune. Aşa că sensul fizic diferența de presiune este rezistenta la scurgere (sau penetrare) când volumul de aer trece prin diverse lacune în camera curata.
Regulamentele de viteza a aerului în camera curata
Viteza fluxului de aer sa fie discutat aici se referă la viteza fluxului de aer în cleanroom. Viteza fluxului de aer în alte camere cu atmosferă controlată este discutată atunci când se discută echipamente specifice.
Pentru camera curata turbulente deoarece principale se bazează în principal pe diluția aer pentru a reduce gradul de poluare interioară, conceptul de numărul de aerisiri este folosit în principal în loc de direct folosind conceptul de viteza, dar există, de asemenea, următoarele cerințele pentru viteza de aer interior;
(1) este viteza aerului la ieșirea de evacuare a aerului nu trebuie să fie prea mare. Comparativ cu o cameră simplă, necesită mai repede viteza de atenuare şi un unghi mai mare de răspândire.
(2 viteza de curgere aer (de exemplu, recirculare viteza timp de alimentare laterale) care este suflat peste planul orizontal care nu ar trebui să fie prea mare, ca sa nu se arunce în aer particule de suprafaţă pentru a reveni la fluxul de aer şi provoca recontaminarea. Această viteză, în general, nu este recomandat pentru a fi la fel de mare ca 0,2 m/s.
Pentru fluxul de paralel curata camera "denumit în continuare laminar curat", viteza de secţiunea transversală este un indicator foarte important pentru că pistonul este folosit în principal pentru fluxul de aer să se excludă de vopsire. În trecut, a fost face trimitere la Statele Unite ale Americii 20gB standard şi 0,45 a fost folosit. m/s. Dar oamenii au învăţat că suma de ventilaţie necesară pentru o astfel de mare viteza este foarte mare. Pentru a economisi energie, ei caută, de asemenea, fezabilitatea reducerii vitezei vântului.
În China, atât aer Cleantech măsurile şi codul de Design Cleanroom sunt
Fluxul paralele verticale (laminar flow) curat ≥0.25 m/s
≥ de cameră curată fluxului paralel orizontal (laminar flow) 0,35 m/s
Controlul poluării fonice
Standarde acustice pentru laborator curat construcţii sunt în general mai stricte decât cele pentru protecţia sănătăţii. Scopul este de a asigura că operaţiunile sunt efectuate în mod normal, şi că sunt îndeplinite contact conversaţie este necesar şi un mediu de lucru sigur şi confortabil. Prin urmare, este indicatorul principal de zgomot într-o încăpere curată.
1. efectul de probleme
Din cauza zgomotului, oamenii simt incomod şi au probleme emotii. Acestea sunt în general împărţite în foarte liniştită, foarte liniştită, liniştită, uşor zgomotoase, relativ zgomotos şi extrem de zgomotoase. În cazul în care nivelul de răspuns este foarte zgomotos si foarte zgomotos, este mare anxietate, şi procentul de numărul mare de probleme în numărul total este rata mare anxietate.
2. impact asupra eficienţei de lucru
Acest lucru depinde în principal de nivelul de răspuns în cele trei zone. Aceste trei aspecte sunt: concentrare, precizia de acţiune, precum şi viteza de lucru;
3. interferenţe cu integrate de comunicaţii